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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Effecting of oxygen and chlorine on nano-structured TiN/Si3N4 films hardness

    Beteiligte:

    Dayan, M. (Autor:in) / Shengli, M. (Autor:in) / Kewei, X. (Autor:in) / Veprek, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS LETTERS ; 59 ; 838-841

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0167-577X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1105 / 530

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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