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SiC Coatings Deposited by RF Magnetron Sputtering

Tang, H. / Tan, S. / Huang, Z.

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Titel:

SiC Coatings Deposited by RF Magnetron Sputtering

Beteiligte:

Tang, H. (Autor:in) / Tan, S. (Autor:in) / Huang, Z. (Autor:in) / Pan, W. / Gong, J. / Ge, C.-C. / Li, J.-F.

Erschienen in:

High-Performance Ceramics III ; 1309-1312

KEY ENGINEERING MATERIALS

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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