Step & flash imprint lithography: Fid-Bau Portal

Step & flash imprint lithography

Resnick, D. J. / Sreenivasan, S. V. / Willson, C. G.

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Titel:

Step & flash imprint lithography

Beteiligte:

Resnick, D. J. (Autor:in) / Sreenivasan, S. V. (Autor:in) / Willson, C. G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TODAY -OXFORD THEN KIDLINGTON- ; 8 ; 34-42

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

1369-7021

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11299

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