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A Measurement System for Step Imprint Lithography

Liu, H. Z. / Lu, B. H. / Ding, Y. C. / Li, D. C. / Tang, Y. P. / Jin, T.

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Titel:

A Measurement System for Step Imprint Lithography

Beteiligte:

Liu, H. Z. (Autor:in) / Lu, B. H. (Autor:in) / Ding, Y. C. (Autor:in) / Li, D. C. (Autor:in) / Tang, Y. P. (Autor:in) / Jin, T. (Autor:in) / Gao, Y. / Tse, S. / Gao, W.

Erschienen in:

Measurement Technology and Intelligent Instruments VI ; 107-112

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 295/296

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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