Characteristic of Nanoporous SiO~2 Thin Film Prepared by Sol-Gel Method with Catalyst HF: Fid-Bau Portal

Characteristic of Nanoporous SiO~2 Thin Film Prepared by Sol-Gel Method with Catalyst HF

He, Z. W. / Liu, X. Q. / Xu, D. Y. / Su, Q. / Guo, D. F. / Wang, Y. Y.

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Titel:

Characteristic of Nanoporous SiO~2 Thin Film Prepared by Sol-Gel Method with Catalyst HF

Beteiligte:

He, Z. W. (Autor:in) / Liu, X. Q. (Autor:in) / Xu, D. Y. (Autor:in) / Su, Q. (Autor:in) / Guo, D. F. (Autor:in) / Wang, Y. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 475/479 ; 1733-1736

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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