Influence of Film Thickness on Intrinsic Growth Stress and Raman Evaluation of Tetrahedral Amorphous Carbon Films: Fid-Bau Portal

Influence of Film Thickness on Intrinsic Growth Stress and Raman Evaluation of Tetrahedral Amorphous Carbon Films

Zhu, J. / Han, J. / Meng, S. / He, X. / Tan, M. / Gao, W.

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Titel:

Influence of Film Thickness on Intrinsic Growth Stress and Raman Evaluation of Tetrahedral Amorphous Carbon Films

Beteiligte:

Zhu, J. (Autor:in) / Han, J. (Autor:in) / Meng, S. (Autor:in) / He, X. (Autor:in) / Tan, M. (Autor:in) / Gao, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 475/479 ; 3627-3630

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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