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Finite Element Analysis of Nano/Micro Pattern Fabrication by Nanoscratch Process

Kang, C. G. / Youn, S. W. / Lee, J. W.

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Titel:

Finite Element Analysis of Nano/Micro Pattern Fabrication by Nanoscratch Process

Beteiligte:

Kang, C. G. (Autor:in) / Youn, S. W. (Autor:in) / Lee, J. W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 475/479 ; 3779-3782

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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