High-performance SiGe heterostructure FET grown on silicon-on-insulator: Fid-Bau Portal

High-performance SiGe heterostructure FET grown on silicon-on-insulator

Wei Chien, P. / Lein Wu, S. / Jinn Chang, S. / Koh, S. / Shiraki, Y.

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Titel:

High-performance SiGe heterostructure FET grown on silicon-on-insulator

Beteiligte:

Wei Chien, P. (Autor:in) / Lein Wu, S. (Autor:in) / Jinn Chang, S. (Autor:in) / Koh, S. (Autor:in) / Shiraki, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 8 ; 367-370

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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