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    Titel:

    Development of a KOH Defect Etching Furnace with Absolute In Situ Temperature Measurement Capability

    Beteiligte:

    Sakwe, S. A. (Autor:in) / Herro, Z. G. (Autor:in) / Wellmann, P. J. (Autor:in) / Nipoti, R. / Poggi, A. / Scorzoni, A.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2004 ; 283-286

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 483/485

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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