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Surface Preparation of 6H-SiC Substrates by Electron Beam Annealing

Agueev, O. A. / Avdeev, S. P. / Svetlichnyi, A. M. / Konakova, R. V. / Milenin, V. V. / Lytvyn, P. M. / Lytvyn, O. S. / Okhrimenko, O. B. / Soloviev, S. I. / Sudarshan, T. S.

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Agueev, O. A. / Avdeev, S. P. / Svetlichnyi, A. M. / Konakova, R. V. / Milenin, V. V. / Lytvyn, P. M. / Lytvyn, O. S. / Okhrimenko, O. B. / Soloviev, S. I. / Sudarshan, T. S.

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Titel:

Surface Preparation of 6H-SiC Substrates by Electron Beam Annealing

Beteiligte:

Agueev, O. A. (Autor:in) / Avdeev, S. P. (Autor:in) / Svetlichnyi, A. M. (Autor:in) / Konakova, R. V. (Autor:in) / Milenin, V. V. (Autor:in) / Lytvyn, P. M. (Autor:in) / Lytvyn, O. S. (Autor:in) / Okhrimenko, O. B. (Autor:in) / Soloviev, S. I. (Autor:in) / Sudarshan, T. S. (Autor:in)

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2004 ; 725-728

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 483/485

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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