Polishing Characteristics of ELID-Ground Surface of Nano Precision Optical Elements: Fid-Bau Portal

Polishing Characteristics of ELID-Ground Surface of Nano Precision Optical Elements

Lin, W. / Ohmori, H. / Suzuki, T. / Uehara, Y. / Morita, S.

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Titel:

Polishing Characteristics of ELID-Ground Surface of Nano Precision Optical Elements

Beteiligte:

Lin, W. (Autor:in) / Ohmori, H. (Autor:in) / Suzuki, T. (Autor:in) / Uehara, Y. (Autor:in) / Morita, S. (Autor:in) / Tamaki, J. / Kuriyagawa, T. / Baron, Y. M.

Erschienen in:

Advances in Abrasive Technology VIII ; 365-370

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 291/292

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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