Origin and FEM-assisted evaluation of residual stress in thermally oxidized porous silicon: Fid-Bau Portal

Origin and FEM-assisted evaluation of residual stress in thermally oxidized porous silicon

Tóth, G. z. / Kordás, K. n. / Edit Pap, A. / Vähäkangas, J. / Uusimäki, A. / Leppävuori, S.

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Titel:

Origin and FEM-assisted evaluation of residual stress in thermally oxidized porous silicon

Beteiligte:

Tóth, G. z. (Autor:in) / Kordás, K. n. (Autor:in) / Edit Pap, A. (Autor:in) / Vähäkangas, J. (Autor:in) / Uusimäki, A. (Autor:in) / Leppävuori, S. (Autor:in)

Erschienen in:

COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE ; 34 ; 123-128

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0927-0256

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 510

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