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    Titel:

    A High Precision AFM for Nanometrology of Large Area Micro-Structured Surfaces

    Beteiligte:

    Aoki, J. (Autor:in) / Gao, W. (Autor:in) / Kiyono, S. (Autor:in) / Ono, T. (Autor:in) / Gao, Y. / Tse, S. / Gao, W.

    Erschienen in:

    Measurement Technology and Intelligent Instruments VI ; 65-70

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 295/296

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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