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    Dokumentinformationen
    Titel:

    AFM with the Slope Compensation Technique for High-Speed Precision Measurement of Micro-Structured Surfaces

    Beteiligte:

    Cui, Y.G. (Autor:in) / Ju, B.F. (Autor:in) / Aoki, J. (Autor:in) / Arai, Y. (Autor:in) / Gao, W. (Autor:in) / Gao, W. / Takaya, Y. / Gao, Y. / Krystek, M.

    Erschienen in:

    Measurement Technology and Intelligent Instruments VIII ; 35-38

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 381/382

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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