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Use of Fiber Interferometer for AFM Cantilever Probe Displacement Control

Shie, N. C. / Chen, T. L. / Cheng, K. Y.

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Titel:

Use of Fiber Interferometer for AFM Cantilever Probe Displacement Control

Beteiligte:

Shie, N. C. (Autor:in) / Chen, T. L. (Autor:in) / Cheng, K. Y. (Autor:in) / Gao, Y. / Tse, S. / Gao, W.

Erschienen in:

Measurement Technology and Intelligent Instruments VI ; 77-82

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 295/296

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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