Effect of Residual Stresses on a Micromachined Z-Axis Vibrating Rate Gyroscope: Fid-Bau Portal

Effect of Residual Stresses on a Micromachined Z-Axis Vibrating Rate Gyroscope

Qiu, A. P. / Su, Y. / Wang, S. R. / Zhou, B. L.

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Titel:

Effect of Residual Stresses on a Micromachined Z-Axis Vibrating Rate Gyroscope

Beteiligte:

Qiu, A. P. (Autor:in) / Su, Y. (Autor:in) / Wang, S. R. (Autor:in) / Zhou, B. L. (Autor:in) / Gao, Y. / Tse, S. / Gao, W.

Erschienen in:

Measurement Technology and Intelligent Instruments VI ; 101-106

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 295/296

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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