Micro Angle Measurement for a Scanning Stage: Fid-Bau Portal

Micro Angle Measurement for a Scanning Stage

Liu, Q. G. / Li, M. / Li, D. C. / Li, Z. G. / Hu, X. T.

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Titel:

Micro Angle Measurement for a Scanning Stage

Beteiligte:

Liu, Q. G. (Autor:in) / Li, M. (Autor:in) / Li, D. C. (Autor:in) / Li, Z. G. (Autor:in) / Hu, X. T. (Autor:in) / Gao, Y. / Tse, S. / Gao, W.

Erschienen in:

Measurement Technology and Intelligent Instruments VI ; 119-124

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 295/296

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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