Simulation of growth process of thin film on non-planar substrate: Fid-Bau Portal

Simulation of growth process of thin film on non-planar substrate

Qi, H. J. / Shao, J. D. / Zhang, D. P. / Yi, K. / Fan, Z. X.

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Titel:

Simulation of growth process of thin film on non-planar substrate

Beteiligte:

Qi, H. J. (Autor:in) / Shao, J. D. (Autor:in) / Zhang, D. P. (Autor:in) / Yi, K. (Autor:in) / Fan, Z. X. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 249 ; 85-90

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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