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    Titel:

    Fabrication and electromechanical characterization of silicon on insulator based electrostatic micro-scanners

    Beteiligte:

    Yan, D. (Autor:in) / Apsel, A. (Autor:in) / Lal, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 14 ; 775-784

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    10 pages

    ISSN:

    0964-1726

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  530

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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