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    Titel:

    Development of specimen and test method for strength analysis of MEMS micromirror

    Beteiligte:

    Izumi, S. (Autor:in) / Ping, C. W. (Autor:in) / Yamaguchi, M. (Autor:in) / Sakai, S. (Autor:in) / Ueda, Y. (Autor:in) / Suzuki, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    ENGINEERING FRACTURE MECHANICS ; 72 ; 2672-2685

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    14 pages

    ISSN:

    0013-7944

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1 / 126

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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