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Strength Analysis of MEMS Micromirror Devices - Effects of Loading Mode and Etching Damage

Izumi, S. / Ping, C. W. / Yamaguchi, M. / Sakai, S. / Suzuki, A. / Ueda, Y.

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Titel:

Strength Analysis of MEMS Micromirror Devices - Effects of Loading Mode and Etching Damage

Beteiligte:

Izumi, S. (Autor:in) / Ping, C. W. (Autor:in) / Yamaguchi, M. (Autor:in) / Sakai, S. (Autor:in) / Suzuki, A. (Autor:in) / Ueda, Y. (Autor:in) / Kim, Y.-J. / Bae, D.-H.

Erschienen in:

Advances in Fracture and Strength ; 527-532

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 297/300

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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