The Improvement of Wet Anisotropic Etching with Megasonic Wave: Fid-Bau Portal

The Improvement of Wet Anisotropic Etching with Megasonic Wave

Che, W. S. / Suk, C. G. / Park, T. G. / Kim, J. T. / Park, J. H.

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Titel:

The Improvement of Wet Anisotropic Etching with Megasonic Wave

Beteiligte:

Che, W. S. (Autor:in) / Suk, C. G. (Autor:in) / Park, T. G. (Autor:in) / Kim, J. T. (Autor:in) / Park, J. H. (Autor:in) / Kim, Y.-J. / Bae, D.-H.

Erschienen in:

Advances in Fracture and Strength ; 557-561

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 297/300

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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