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    Titel:

    Nanoindentation analysis of mechanical properties of low to ultralow dielectric constant SiCOH films

    Beteiligte:

    Wang, L. (Autor:in) / Ganor, M. (Autor:in) / Rokhlin, S. I. (Autor:in) / Grill, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 20 ; 2080-2093

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    14 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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