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Organic contaminants removal by N2O plasma treatment

Kim, D. K. / Park, Y. K. / Lee, C.

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Titel:

Organic contaminants removal by N2O plasma treatment

Beteiligte:

Kim, D. K. (Autor:in) / Park, Y. K. (Autor:in) / Lee, C. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 40 ; 4137-4139

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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