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Trapped Particle Detection in Bonded Semiconductors Using Gray-field Photoelastic Imaging

Horn, G. / Mackin, T. J. / Lesniak, J.

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Titel:

Trapped Particle Detection in Bonded Semiconductors Using Gray-field Photoelastic Imaging

Beteiligte:

Horn, G. (Autor:in) / Mackin, T. J. (Autor:in) / Lesniak, J. (Autor:in)

Erschienen in:

EXPERIMENTAL MECHANICS ; 45 ; 457-466

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0014-4851

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1

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