A compensation of Young's modulus in polysilicon structure with discontinuous material distribution: Fid-Bau Portal

A compensation of Young's modulus in polysilicon structure with discontinuous material distribution

Lee, D. c. / Choi, H. s. / Han, C. s. / Jeong, H. j.

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Titel:

A compensation of Young's modulus in polysilicon structure with discontinuous material distribution

Beteiligte:

Lee, D. c. (Autor:in) / Choi, H. s. (Autor:in) / Han, C. s. (Autor:in) / Jeong, H. j. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 59 ; 3900-3903

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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