Ion-Beam-Assisted Lift-Off Technique for Three-Dimensional Micromachining of Freestanding Single-Crystal Diamond: Fid-Bau Portal

Ion-Beam-Assisted Lift-Off Technique for Three-Dimensional Micromachining of Freestanding Single-Crystal Diamond

Olivero, P. / Rubanov, S. / Reichart, P. / Gibson, B. C. / Huntington, S. T. / Rabeau, J. / Greentree, A. D. / Salzman, J. / Moore, D. / Jamieson, D. N.

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Olivero, P. / Rubanov, S. / Reichart, P. / Gibson, B. C. / Huntington, S. T. / Rabeau, J. / Greentree, A. D. / Salzman, J. / Moore, D. / Jamieson, D. N.

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Olivero, P. / Rubanov, S. / Reichart, P. / Gibson, B. C. / Huntington, S. T. / Rabeau, J. / Greentree, A. D. / Salzman, J. / Moore, D. / Jamieson, D. N.

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Titel:

Ion-Beam-Assisted Lift-Off Technique for Three-Dimensional Micromachining of Freestanding Single-Crystal Diamond

Beteiligte:

Olivero, P. (Autor:in) / Rubanov, S. (Autor:in) / Reichart, P. (Autor:in) / Gibson, B. C. (Autor:in) / Huntington, S. T. (Autor:in) / Rabeau, J. (Autor:in) / Greentree, A. D. (Autor:in) / Salzman, J. (Autor:in) / Moore, D. (Autor:in) / Jamieson, D. N. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 17 ; 2427-2430

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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