Suppression of boron interstitial clusters in SOI using vacancy engineering: Fid-Bau Portal

Suppression of boron interstitial clusters in SOI using vacancy engineering

Smith, A. J. / Colombeau, B. / Gwilliam, R. / Cowern, N. E. / Sealy, B. J. / Milosavljevic, M. / Collart, E. / Gennaro, S. / Bersani, M. / Barozzi, M.

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Smith, A. J. / Colombeau, B. / Gwilliam, R. / Cowern, N. E. / Sealy, B. J. / Milosavljevic, M. / Collart, E. / Gennaro, S. / Bersani, M. / Barozzi, M.

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Titel:

Suppression of boron interstitial clusters in SOI using vacancy engineering

Beteiligte:

Smith, A. J. (Autor:in) / Colombeau, B. (Autor:in) / Gwilliam, R. (Autor:in) / Cowern, N. E. (Autor:in) / Sealy, B. J. (Autor:in) / Milosavljevic, M. (Autor:in) / Collart, E. (Autor:in) / Gennaro, S. (Autor:in) / Bersani, M. (Autor:in) / Barozzi, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 124-125 ; 210-214

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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