Investigation of carbon plasma species emission at relatively high KrF laser fluences in nitrogen ambient: Fid-Bau Portal

Investigation of carbon plasma species emission at relatively high KrF laser fluences in nitrogen ambient

Abdelli-Messaci, S. / Kerdja, T. / Bendib, A. / Aberkane, S. M. / Lafane, S. / Malek, S.

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Titel:

Investigation of carbon plasma species emission at relatively high KrF laser fluences in nitrogen ambient

Beteiligte:

Abdelli-Messaci, S. (Autor:in) / Kerdja, T. (Autor:in) / Bendib, A. (Autor:in) / Aberkane, S. M. (Autor:in) / Lafane, S. (Autor:in) / Malek, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 2012-2020

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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