Preparation and characterization of pulsed laser deposition (PLD) SiC films: Fid-Bau Portal

Preparation and characterization of pulsed laser deposition (PLD) SiC films

Tang, Y. H. / Sham, T. K. / Yang, D. / Xue, L.

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Titel:

Preparation and characterization of pulsed laser deposition (PLD) SiC films

Beteiligte:

Tang, Y. H. (Autor:in) / Sham, T. K. (Autor:in) / Yang, D. (Autor:in) / Xue, L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 3386-3389

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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