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    Titel:

    Deposition Temperature Effect on the Structure and Optical Property of RF-PACVD-Derived Hydrogenated SiCNO Film

    Beteiligte:

    Zhou, Y. (Autor:in) / Yan, X. (Autor:in) / Kroke, E. (Autor:in) / Riedel, R. (Autor:in) / Probst, D. (Autor:in) / Thissen, A. (Autor:in) / Hauser, R. (Autor:in) / Ahles, M. (Autor:in) / von Seggern, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK ; 37 ; 173-177

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0933-5137

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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