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    Titel:

    Numerical analysis of the process-induced stresses in silicon microstructures: application to micromachined cantilever

    Beteiligte:

    Senez, V. (Autor:in) / Hoffmann, T. (Autor:in) / Armigliato, A. (Autor:in) / De Wolf, I. (Autor:in)

    Erschienen in:

    SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 15 ; S47-S56

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    S47-S56

    ISSN:

    0964-1726

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  530

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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