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Ti Coating of Nanocrystalline Diamond by Atomic Layer Deposition

Zang, J. B. / Lu, J. / Wang, Y. H. / Qi, X. H. / Yuan, Y. G.

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Titel:

Ti Coating of Nanocrystalline Diamond by Atomic Layer Deposition

Beteiligte:

Zang, J. B. (Autor:in) / Lu, J. (Autor:in) / Wang, Y. H. (Autor:in) / Qi, X. H. (Autor:in) / Yuan, Y. G. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 304/305 ; 48-51

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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