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Silicon Atomic Layer Deposition on Nanocrystalline Diamond

Wang, Y. H. / Lu, J. / Qi, X. H. / Zang, J. B.

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Titel:

Silicon Atomic Layer Deposition on Nanocrystalline Diamond

Beteiligte:

Wang, Y. H. (Autor:in) / Lu, J. (Autor:in) / Qi, X. H. (Autor:in) / Zang, J. B. (Autor:in) / Yuan, Z. / Xu, X. / Zuo, D. / Yuan, J. / Yao, Y.

Erschienen in:

Advances in Machining & Manufacturing Technology VIII ; 436-439

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 315/316

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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