A TiNiCu Thin Film Micropump Made by Magnetron Co-Sputtered Method: Fid-Bau Portal

A TiNiCu Thin Film Micropump Made by Magnetron Co-Sputtered Method

Zhang, H. J. / Qiu, C. J.

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Titel:

A TiNiCu Thin Film Micropump Made by Magnetron Co-Sputtered Method

Beteiligte:

Zhang, H. J. (Autor:in) / Qiu, C. J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TRANSACTIONS ; 47 ; 532-535

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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