Comparing study of subpicosecond and nanosecond wet etching of fused silica: Fid-Bau Portal

Comparing study of subpicosecond and nanosecond wet etching of fused silica

Vass, C. / Sebk, D. / Hopp, B.

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Titel:

Comparing study of subpicosecond and nanosecond wet etching of fused silica

Beteiligte:

Vass, C. (Autor:in) / Sebk, D. (Autor:in) / Hopp, B. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 4768-4772

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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