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FTIR spectroscopic system with improved sensitivity

Akhmetov, V. D. / Richter, H.

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Titel:

FTIR spectroscopic system with improved sensitivity

Beteiligte:

Akhmetov, V. D. (Autor:in) / Richter, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 92-95

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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