Impedance spectroscopy study of RuO2/SrTiO3 thin film capacitors prepared by radio-frequency magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Impedance spectroscopy study of RuO2/SrTiO3 thin film capacitors prepared by radio-frequency magnetron sputtering

Reddy, Y. K. / Mergel, D. / Osswald, W.

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Titel:

Impedance spectroscopy study of RuO2/SrTiO3 thin film capacitors prepared by radio-frequency magnetron sputtering

Beteiligte:

Reddy, Y. K. (Autor:in) / Mergel, D. (Autor:in) / Osswald, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 130 ; 237-245

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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