Ellipsometric study of a-Be3N2 thin films prepared by radio frequency magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Ellipsometric study of a-Be3N2 thin films prepared by radio frequency magnetron sputtering

Khoshman, J. M. / Jennings, W. D. / Kordesch, M. E.

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Titel:

Ellipsometric study of a-Be3N2 thin films prepared by radio frequency magnetron sputtering

Beteiligte:

Khoshman, J. M. (Autor:in) / Jennings, W. D. (Autor:in) / Kordesch, M. E. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 6190-6194

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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