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Nanometer Positioning System Based on Ball Screw
Nanometer Positioning System Based on Ball Screw
Nanometer Positioning System Based on Ball Screw
Lu, L. H. (Autor:in) / Liang, Y. C. (Autor:in) / Tachikawa, H. (Autor:in) / Guo, Y. F. (Autor:in) / Shimokohbe, A. (Autor:in) / Yuan, Z. / Xu, X. / Zuo, D. / Yuan, J. / Yao, Y.
01.01.2006
5 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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