Investigation on hexamethyldisilazane vapor treatment of plasma-damaged nanoporous organosilicate films: Fid-Bau Portal

Investigation on hexamethyldisilazane vapor treatment of plasma-damaged nanoporous organosilicate films

Rajagopalan, T. / Lahlouh, B. / Lubguban, J. A. / Biswas, N. / Gangopadhyay, S. / Sun, J. / Huang, D. H. / Simon, S. L. / Toma, D. / Butler, R.

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Rajagopalan, T. / Lahlouh, B. / Lubguban, J. A. / Biswas, N. / Gangopadhyay, S. / Sun, J. / Huang, D. H. / Simon, S. L. / Toma, D. / Butler, R.

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Titel:

Investigation on hexamethyldisilazane vapor treatment of plasma-damaged nanoporous organosilicate films

Beteiligte:

Rajagopalan, T. (Autor:in) / Lahlouh, B. (Autor:in) / Lubguban, J. A. (Autor:in) / Biswas, N. (Autor:in) / Gangopadhyay, S. (Autor:in) / Sun, J. (Autor:in) / Huang, D. H. (Autor:in) / Simon, S. L. (Autor:in) / Toma, D. (Autor:in) / Butler, R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 6323-6331

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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