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    Titel:

    Growth of highly c-axis oriented aluminum nitride thin films on β-tantalum bottom electrodes

    Beteiligte:

    Akiyama, M. (Autor:in) / Ueno, N. (Autor:in) / Nagao, K. (Autor:in) / Yamada, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 41 ; 4691-4694

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0022-2461

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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