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    Titel:

    Characterization of post-copper CMP surfaces with scanning probe microscopy

    Beteiligte:

    Dominget, A. (Autor:in) / Farkas, J. (Autor:in) / Szunerits, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 7760-7765

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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