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An XPS study on ion beam induced oxidation of titanium silicide

Osiceanu, P.

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Titel:

An XPS study on ion beam induced oxidation of titanium silicide

Beteiligte:

Osiceanu, P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 381-384

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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