Reliability study of sub-micron titanium silicide contacts: Fid-Bau Portal

Reliability study of sub-micron titanium silicide contacts

Lin, C. C. / Chen, W. S. / Hwang, H. L. / Hsu, K. Y. J. / Liou, H. K. / Tu, K. N.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Reliability study of sub-micron titanium silicide contacts

Lin, C. C. / Chen, W. S. / Hwang, H. L. / Hsu, K. Y. J. / Liou, H. K. / Tu, K. N.

Reliability study of sub-micron titanium silicide contacts

Lin, C. C. / Chen, W. S. / Hwang, H. L. / Hsu, K. Y. J. / Liou, H. K. / Tu, K. N.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Reliability study of sub-micron titanium silicide contacts

Beteiligte:

Lin, C. C. (Autor:in) / Chen, W. S. (Autor:in) / Hwang, H. L. (Autor:in) / Hsu, K. Y. J. (Autor:in) / Liou, H. K. (Autor:in) / Tu, K. N. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 92 ; 660-664

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Zagozdzon-Wosik, W. / Rusakova, I. / Gooty, S. R. et al. | British Library Online Contents | 1998

Characterization of sputtered titanium silicide ohmic contacts on n-type 6H-silicon carbide

Getto, R. / Freytag, J. / Kopnarski, M. et al. | British Library Online Contents | 1999

Silicide formation in contacts to Si nanowires

Dellas, N. S. / Schuh, C. J. / Mohney, S. E. | British Library Online Contents | 2012

Tailoring of nickel silicide contacts on silicon carbide

Perez-Garcia, S. A. / Nyborg, L. | British Library Online Contents | 2007

Mechanisms for Enhanced Formation of the C45 Phase of Titanium Silicide Ultra-Large-Scale Integration Contacts

Harper, J. M. E. / Cabral, C. / Lavoie, C. | British Library Online Contents | 2000

Nach oben