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Physics of process induced uniaxially strained Si

Sun, Y. / Sun, G. / Parthasarathy, S. / Thompson, S. E.

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Titel:

Physics of process induced uniaxially strained Si

Beteiligte:

Sun, Y. (Autor:in) / Sun, G. (Autor:in) / Parthasarathy, S. (Autor:in) / Thompson, S. E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 135 ; 179-183

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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