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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Monte Carlo simulations of Formula Not Shown -doping placement in sub-100 nm implant free InGaAs MOSFETs

    Beteiligte:

    Kalna, K. (Autor:in) / Wang, Q. (Autor:in) / Passlack, M. (Autor:in) / Asenov, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 135 ; 285-288

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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