Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Augmented CMP Techniques for Silicon Carbide
Augmented CMP Techniques for Silicon Carbide
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Kuo, P. (Autor:in) / Currier, I. (Autor:in) / Devaty, R. P. / Larkin, D. J. / Saddow, S. E.
Silicon Carbide and Related Materials - 2005 ; 1099-1102
MATERIALS SCIENCE FORUM ; 527/529
01.01.2006
4 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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