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    Titel:

    Growth Kinetics and Polytype Stability in Halide Chemical Vapor Deposition of SiC

    Beteiligte:

    Nigam, S. (Autor:in) / Chung, H. J. (Autor:in) / Huh, S. W. (Autor:in) / Grim, J. (Autor:in) / Polyakov, A. Y. (Autor:in) / Fanton, M. A. (Autor:in) / Weiland, B. (Autor:in) / Snyder, D. W. (Autor:in) / Skowronski, M. (Autor:in) / Devaty, R. P.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials - 2005 ; 27-30

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 527/529

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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