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Resistivity Distribution in Undoped 6H-SiC Boules and Wafers

Li, Q. / Polyakov, A. Y. / Skowronski, M. / Sanchez, E. K. / Loboda, M. J. / Fanton, M. A. / Bogart, T. / Gamble, D. / Smirnov, N. B. / Makarov, Y. N.

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Li, Q. / Polyakov, A. Y. / Skowronski, M. / Sanchez, E. K. / Loboda, M. J. / Fanton, M. A. / Bogart, T. / Gamble, D. / Smirnov, N. B. / Makarov, Y. N.

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Li, Q. / Polyakov, A. Y. / Skowronski, M. / Sanchez, E. K. / Loboda, M. J. / Fanton, M. A. / Bogart, T. / Gamble, D. / Smirnov, N. B. / Makarov, Y. N.

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Titel:

Resistivity Distribution in Undoped 6H-SiC Boules and Wafers

Beteiligte:

Li, Q. (Autor:in) / Polyakov, A. Y. (Autor:in) / Skowronski, M. (Autor:in) / Sanchez, E. K. (Autor:in) / Loboda, M. J. (Autor:in) / Fanton, M. A. (Autor:in) / Bogart, T. (Autor:in) / Gamble, D. (Autor:in) / Smirnov, N. B. (Autor:in) / Makarov, Y. N. (Autor:in)

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials - 2005 ; 51-54

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 527/529

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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